Ag-MgO复合团簇薄膜微结构及其光学特性

硅酸盐通报 , 2008, (4): 843-856.

Ag-MgO复合团簇薄膜微结构及其光学特性

吕建国 ^1, , 伍红松 ^2, , 陈磊 ^3, , 宋学萍 ^4, , 孙兆奇 ^5,

1.安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039;合肥师范学院物理与电子工程系,合肥,230061

2.安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039

3.安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039

4.安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039

5.安徽大学物理与材料科学学院,合肥,230039

基金项目: 高等学校博士学科点专项科研项目(20060357003) 安徽科技厅重点项目(07020203009) 安徽大学校科研和教改项目国家自然科学基金(50642038) 安徽省高校青年教师科研项目(2006jq1192) 安徽省高校省级教学研究项目(KJ2007B135) 安徽省人才基金(20042029)

关键词： Ag-Mgo复合团簇薄膜 , 微结构 , 表面形貌 , 光学性质

Microstructure and Optical Properties of Ag-MgO Composite Cluster Films

用射频-磁控共溅射技术制备出Ag体积分数分别为5%,10%,15%和20%的Ag-MgO复合团簇薄膜.用X-射线衍射仪、原子力显微镜和紫外-可见分光光度计研究了复合团簇薄膜的微结构、表面形貌和光学性质.结果表明:随着Ag体积分数从5%增大到20%,薄膜中Ag的平均晶粒尺寸由8.2 nm增大到10.9 nm,薄膜的平均颗粒尺寸从37.9 nm增大到43.4 nm,方均根(rms)粗糙度先减小后略有增大,可见光范围内的平均透过率先下降后几乎保持不变.

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