钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究

功能材料, 2004, 35(5): 615-617.

钛酸锶钡(BST)薄膜的介电性能研究

陈宏伟 ^1, , 杨传仁 ^2, , 符春林 ^3, , 赵莉 ^4, , 高志强 ^5,

1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

2.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

3.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

4.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

5.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川,成都,610054

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(Z01)

关键词：钛酸锶钡 , 薄膜 , 膜厚 , 晶粒尺寸 , 介电性能

Study on dielectric properties of barium strontium titanate thin films

采用射频磁控溅射法制备了BaxSr1-xTiO3(简称BST)薄膜材料,研究了不同膜厚、晶粒尺寸的BST薄膜的介电系数温度特性(εr-T)、频率特性(εr-f)、电压特性(εr-U)及损耗的温度特性(tgδ -T)、频率特性(tgδ -f),找出了BST薄膜的非线性、损耗随尺度变化的规律.

参考文献

[1]	Cho H J;Kang C S;Hwang C S et al.[J].Japanese Journal of Applied Physics,1997,36(7A):874-876.
[2]	Kawakubo T.;Abe K.;Sano K.;Yanase N.;Fukushima N.;Komatsu S. .Ferroelectric properties of SrRuO3/(Ba,Sr)TiO3/SrRuO3 epitaxial capacitor[J].Japanese journal of applied physics,1998(9B):5108-5111.
[3]	Zhu H;Noda M;Mukaigawa T et al.[J].Transactions IEE of Japan,2000,120-E(12):554-558.
[4]	Xu H;Hashimoto K;Mukaigawa T et al.[J].Proceedings of SPIE,2000,4130:140-151.
[5]	Chen D L;Shen J;Chen S Y et al.[J].Applied Physics Letters,2001,78(05):652-654.
[6]	Romanofsky R R;Vankeuls F W;Warner J D et al.[J].Materials Research Society Symposium Proceedings,2000,603:3-14.
[7]	Carlson CM.;Parilla PA.;Perkins JD.;Ginley DS.;Kozyrev AB. Oshadchy VN.;Pavlov AS.;Rivkin TV. .Large dielectric constant (epsilon/epsilon(0)> 6000) Ba0.4Sr0.6TiO3 thin films for high-performance microwave phase shifters[J].Applied physics letters,2000(14):1920-1922.
[8]	Zhu W;Tan O K;Ding J et al.[J].Journal of Materials Research,2000,15(06):1291-1302.
[9]	Tan O K;Chen X F;Zhu W G .[J].Ferroelectrics,1999,225:295-302.
[10]	Im J;Auciell O;Baumann P K et al.[J].Applied Physics Letters,2000,76(05):625-627.
[11]	Lee J;Choi Y C;Lee B S .[J].Japanese Journal of Applied Physics,1997,36(6a):3644-3648.
[12]	Lahiry S;Gupta V;Sreenivas K.[J].IEEE,1998:129-132.
[13]	Saha S;Kanfman D Y;Streiffer S K et al.[J].Applied Physics Letters,2003,83(07):1414-1416.
[14]	Chan W H;Shen H L;Chou L H et al.[J].Soc Symp,2000,596:43-48.
[15]	钟维烈.铁电体物理学[M].北京:科学出版社,2000:354-358.
[16]	Shaw TM.;McIntyre PC.;Trolier-McKinstry S. .The properties of ferroelectric films at small dimensions [Review][J].Annual review of materials research,2000(0):263-298.

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