大口径镀膜机均匀性的研究

功能材料, 2004, 35(z1): 3216-3220.

1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

2.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

3.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

4.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

5.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

6.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800

基金项目: 高质量高破坏阈值介质膜层项目(863-804-2-40)

Film uniformity characteristic of large caliber coating machine

对于大口径镀膜机的均匀性特性进行了研究,得到了一组厚度分布曲线,并对曲线进行了分析;利用这些实验结果,运用新理论设计出了具有实用性的修正挡板,均匀性可稳定的达到3‰.

[1]	Macleod H A.Thin-Film Optical Filters[M].England: IOP Publishing, Bristol,2001:488-522.
[2]	潘栋梁,熊胜明,张云洞,王任华.行星夹具膜厚均匀性计算[J].强激光与粒子束,2000(03):277-280.
[3]	顾培夫.薄膜技术[M].杭州:浙江大学出版社,1990
[4]	Villa F;Martinez A;Luis E .Regalado,"Correction masks for thickness uniformity in large-area films"[J].Applied Optics,2000,39(10):1602-1610.
[5]	Villa Francisco;Pompa Octavio .Emission pattern of real vapor sources in high vacuum: an overview[J].Applied optics,1999(4):695-0.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分