溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的红外发射率研究

功能材料, 2008, 39(4): 590-592.

溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的红外发射率研究

李琨 ^1, , 罗发 ^2, , 苏晓磊 ^3, , 朱冬梅 ^4, , 周万城 ^5,

1.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

2.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

3.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

4.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

5.西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西,西安,710072

基金项目: 国家自然科学基金(90305016)

关键词： ZAO 薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 红外发射率

Study on infrared emissivity of ZnO: Al(ZAO) thin films prepared by sol-gel process

用溶胶-凝胶法在石英玻璃基底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究了热处理温度和Al掺杂含量对薄膜红外发射率的影响.通过XRD和SEM分析了薄膜的微观结构和表面形貌,用光谱辐射计测量了薄膜在8～14μm波段的光谱发射率.结果表明,制备的ZAO薄膜都具有ZnO六角形纤锌矿结构,没有生成杂质相.热处理温度是影响薄膜在8～14μm波段平均红外发射率(ε)的主要因素.随热处理温度的升高和Al掺杂含量的增加,薄膜的ε值有降低的趋势.

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