观察了双层辉光渗金属过程中源极溅射后的成分以及形貌, 利用X射线衍射对源极溅射表面进行了相分析, 并且用Thermo-cale软件进行了相计算. 结果表明: 在辉光溅射条件下源极的成分和形貌发生了较大的变化, 溅射后源极表面主要析出相为μ相和Laves相, 用Thermo-cale软件热力学相计算结果与X射线衍射结果基本吻合.
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