以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜.经X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌.测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能,并且沿(002)晶面择优取向生长,薄膜具有优良的均匀性和致密性.同时,制备得到的薄膜在可见光区也表现出80%以上的高透过率.
参考文献
| [1] | Look D C .[J].Materials Science and Engineering,2001,B80:383. |
| [2] | Pragnay F D;Estradal W .[J].Thin Solid Films,1999,350:192. |
| [3] | Olvera M I;Maldonado A;Asomoza R .[J].Thin Solid Films,1993,229:196. |
| [4] | Djaoued P;Badilescu .[J].Thin Solid Films,1997,293:108. |
| [5] | Brinzari V;Korotcenkov G;Golovano V .[J].Thin Solid Films,2001,391:167. |
| [6] | Ayouchi R.;Leinen D.;Martin F.;Gabas M.;Dalchiele E.;Ramos-Barrado JR. .Preparation and characterization of transparent ZnO thin films obtained by spray pyrolysis[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2003(1/2):68-77. |
| [7] | 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉.直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J].半导体学报,2001(08):1015-1018. |
| [8] | Washington P L;Ong H C;Dai J Y .[J].Applied Physics Letters,1998,72:3261. |
| [9] | Paraguay D;Morales J .[J].Thin Solid Films,2000,366:16. |
| [10] | Patil P S .[J].Materials Chemistry and Physics,1999,59:185. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%