为了避免传统加工过程对KDP( Potassium dihydrogen phosphate)晶体表面产生损伤、嵌入杂质等降低晶体抗激光损伤阈值的不利因素,文章探索采用离子束抛光技术实现KDP晶体的加工.本文主要分析了离子束抛光作用下KDP晶体表面粗糙度的演变过程,采用垂直入射和倾斜45°入射两种方式研究KDP晶体表面粗糙度,利用倾斜45°入射的加工方式提高了KDP晶体的表面质量,其表面均方根粗糙度值由初始的3.07 nm减小到了1.95 nm,实验结果验证了离子束抛光加工KDP晶体的可行性.
参考文献
| [1] | 杨福兴.激光核聚变光学元件超精密加工技术的研究[J].光学技术,2003(06):649-651. |
| [2] | 陈明君,姜伟,庞启龙,刘新艳.KDP晶体微纳米加工表层缺陷对其激光损伤阈值的影响[J].强激光与粒子束,2010(01):159-164. |
| [3] | 张艳珍,孙洵,蒋晓东,王波,黄进,陈习权,魏晓峰,许心光.KDP晶体体缺陷和损伤的观测方法研究[J].人工晶体学报,2006(03):545-549. |
| [4] | 王洪祥,王景贺,孙涛,张龙江.磷酸二氢钾晶体超精密加工存在的若干问题分析[J].兵工学报,2006(05):911-915. |
| [5] | 王碧玲,高航,滕晓辑,康仁科.抛光加工参数对KDP晶体材料去除和表面质量的影响[J].人工晶体学报,2010(01):29-33,43. |
| [6] | 王奔,吴东江,高航,康仁科.清洗方法对KDP晶体抛光表面质量的影响[J].人工晶体学报,2009(02):525-528,534. |
| [7] | Lahayr P;Chomon C;Dumont P .Using a Design of Experiment Method to Improve KDP Crystal Machining Process[J].SPIE,1999,3492:814-820. |
| [8] | 陈浩锋,戴一帆,郑子文,彭小强.纳米尺度延性域干切削KDP晶体的无粘屑研究[J].人工晶体学报,2010(05):1104-1108. |
| [9] | Namba Y;Katagiri M .Ultraprecision Grinding of Potassium Dihydrogen Phosphate Crystals for Getting Optical surface[J].SPIE,1999,3578:692-698. |
| [10] | Wu D J;Wang B;Gao H et al.Influence of Grinding to the Surface and Subsurface Quality of KDP Crystal[J].Adoanced Materials Research,2008,53-54:203-208. |
| [11] | 王强国,高航,裴志坚,鲁春朋,王碧玲,滕晓辑.KDP晶体超声辅助磨削的亚表面损伤研究[J].人工晶体学报,2010(01):67-71. |
| [12] | 滕晓辑 .KDP晶体潮解机理及材料溶解可加工性试验研究[D].大连理工大学,2007. |
| [13] | 张飞虎;郭少龙;张勇 .磷酸二氢钾晶体潮解抛光方法[P].中国专利:CN101310922Al,2008-11-26. |
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