X光单级衍射光栅的研究进展

材料导报, 2013, 27(z2): 164-178.

X光单级衍射光栅的研究进展

黄成龙 ^1, , 张继成 ^2, , 易勇 ^3, , 曹磊峰 ^4, , 王红斌 ^5,

1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900;西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳621010

2.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

3.西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳621010

4.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

5.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

基金项目: 四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金(11zxfk19)

关键词： X光单级衍射光栅 , 黑白透射光栅 , 电子束光刻 , X射线光刻

Recent Developments in X-ray Single-order Diffraction Gratings

HUANG Chenglong ^1, , ZHANG Jicheng ^2, , YI Yong ^3, , CAO Leifeng ^4, , WANG Hongbin ^5,

1.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900;西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳621010

2.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

3.西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳621010

4.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

5.中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳621900

Keywords： X-ray single-order diffraction grating , black-white transmission grating , electron beam lithography , X-ray lithography

介绍了单级衍射光栅的应用背景及其基本理论,分析了单级衍射光栅与传统黑白透射光栅的不同之处.阐述了单级衍射光栅的制作技术,分析了以电子束光刻、X射线光刻和微电镀技术为主的工艺路线的优缺点.综述了X光单级衍射光栅的发展历程以及存在的问题,并指出了其未来的研究方向.

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