采用直流磁控溅射设备制备ZnO/Al复合非晶硅电池背电极,在实际生产线上研究对比了使用ZnO/Al复合背电极与Al背电极的非晶硅电池性能,实验证明ZnO/Al复合背电极能提高太阳电池的短路电流和最大功率,并通过扩展实验验证了使用ZnO/Al复合背电极电池工艺稳定性较好,适合大规模非晶硅电池生产.
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