退火温度对Zn0.93Fe0.07O薄膜微结构和铁磁性能的影响

人工晶体学报, 2016, 45(8): 2152-2171.

退火温度对Zn0.93Fe0.07O薄膜微结构和铁磁性能的影响

更藏多杰 ^1, , 马书懿 ^2, , 陈万军 ^3, , 张国恒 ^4, , 陈彦 ^5,

1.西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030

2.西北师范大学物理与电子工程学院,甘肃省原子分子与功能材料重点实验室,兰州730070

3.西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030

4.西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030

5.西北民族大学电气工程学院,电子材料国家民委重点实验室,兰州730030

基金项目: 中央高校基金(31920150011)

关键词：兹控溅射 , Zn0.93Fe0.07O薄膜 , 退火温度 , 铁磁性

Effects of Annealing Temperature on Microstructure and Ferromagnetism of Zn0.93Fe0.07O Thin Films

Keywords： magnetron sputtering , Zn0.93Fe0.07O thin film , annealing temperature , ferromagnetism

用射频磁控溅射方法在硅片上制备了Zn0.93Fe0.07O薄膜,并在空气中用不同温度进行热处理,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对其微结构、表面和断面形貌进行测试.结果表明,薄膜沿c轴方向择优生长,呈六角纤锌矿结构,空气中450℃退火的样品XRD谱中出现最强的(002)衍射峰,晶粒尺寸变大,薄膜结晶和取向明显变好.用振动样品强磁计对样品铁磁特性进行测试,发现当退火温度的升高时,饱和磁化强度有所增加,并经分析认为这可能是薄膜中晶粒间的晶界缺陷引起的.

参考文献

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