高支化碱溶性感光聚酯的光成像性能

功能材料, 2002, 33(6): 675-677.

1.华南理工大学轻化工研究所,广东,广州,510641

2.华南理工大学轻化工研究所,广东,广州,510641

3.华南理工大学轻化工研究所,广东,广州,510641

4.四川大学,高分子材料科学与工程系,高分子材料工程国家重点实验室,四川,成都,610065

5.四川大学,高分子材料科学与工程系,高分子材料工程国家重点实验室,四川,成都,610065

6.四川大学,高分子材料科学与工程系,高分子材料工程国家重点实验室,四川,成都,610065

Photoimagery behaviours of hyperbranched base-dissolved polyesters

研究了高支化碱溶性感光聚合物的碱溶性、感光性及其光致抗蚀剂的成像显影性能.研究发现高支化碱溶性感光聚合物酸值越大,图像越清晰,显影时间越短,并具有更良好的图像断面;平行光曝光图像清晰度和断面情况均比点光源好;在合适的成像显影条件下,经UV白光接触曝光高支化感光聚合物抗蚀剂图像分辨率可达到约1μm.

[1]	孙世铭;穆启道.化工材料咨询报告[M].北京:中国石化出版社,1999
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[3]	冯宗财,王跃川,赵凌.含光敏剂的高支化碱溶性感光聚合物的合成及性能[J].高分子材料科学与工程,2001(03):66-70.
[4]	Reisern A .[J].Journal de Chimie Physique,1980,77:61-68.

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