利用振簧技术测量了不同退火状态下的nc-TiN／a-Si3N4超硬薄膜的Young's模量和内耗随温度的变化关系．在280--300℃附近观察到一个弛豫内耗峰．随着退火温度的升高，该内耗峰逐渐减弱，而Young's模量变化不大，750℃退火后，该内耗峰消失，而模量却从未退火时的430GPa激增至530GPa，初步认为该内耗峰来源于非稳定界面的弛豫过程.
参考文献
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