大气微波等离子体矩具有无电极放电污染、无需昂贵真空设备和易于连续化加工等特点,具有广阔的应前景.本文设计了一套基于BJ26波导的微波能利用率高、稳定性好的大气微波等离子体装置.该装置由最高输出功为800W的2.45GHz程控微波源、调配系统、波导谐振腔和耦合天线组成.利用加装游标卡尺的接触式短路活塞,微波反射面位置进行高精度调节,通过对波导谐振腔和耦合天线的设计,在大气环境下实现了微波等离子体的放电在不同微波功率、气源以及气体流量条件下进行了等离子体放电实验.结果表明,微波功率为700W、氩气流量为3103cm3/min时,等离子体放电强度最高、稳定性最强.利用电磁场理论对各种实验结果进行了详尽的分析.
参考文献
| [1] | S.J. Rubio;M.C. Quintero;A. Rodero;J.M. Fernandez Rodriguez .Assessment of a new carbon tetrachloride destruction system based on a microwave plasma torch operating at atmospheric pressure[J].Journal of hazardous materials,2007(1/2):419-427. |
| [2] | 李德君 .大气压等离子体射流的产生机理[D].大连理工大学,2004. |
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