设计并制备了AlN电热元件,电热元件由AlN陶瓷基片及其附着其上的通电线路Pt组成.利用丝网印刷的方法在AlN表面进行Pt浆料布线,线条数目为10.烧成温度选为1000 ℃和1300 ℃.用红外测温仪测量不同电压下的电热元件的工作温度.研究发现,1300 ℃烧成的电热元件可稳定工作于1000 ℃以上,符合设计要求.AlN/Pt的结合界面SEM形貌表明AlN与Pt膜是紧密的机械结合.AlN表面氧化生成的氧化膜利于Pt膜与AlN陶瓷的结合.
参考文献
| [1] | 李耀霖.Thick Film of Electronic Element[M].广州:华南理工大学出版社,1991:5. |
| [2] | Alphonso C Stewart;Jason H Hair.[A].New York:Glenn Research Center,2002:135. |
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