退火工艺对二氧化钛薄膜光催化性能的影响

稀有金属材料与工程, 2015, 44(11): 2913-2917.

退火工艺对二氧化钛薄膜光催化性能的影响

张哲朋 ^1, , 禹彪 ^2, , 周晨露 ^3, , 范海波 ^4, , 郑新亮 ^5, , 姚合宝 ^6,

1.西北大学,陕西西安,710069

2.西北大学,陕西西安,710069

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6.西北大学,陕西西安,710069

基金项目: 国家自然科学基金(11204238) 陕西省自然科学基金(2011JQ6015) 国家级大学生创新创业训练计划(201210697024) 国家基础人才培养基金(J0103) 陕西省教育厅研究专项基金(09JK740)

关键词： TiO2薄膜 , 光催化 , 退火 , 锐钛矿 , 金红石

Influence of Annealing on the Photocatalytic Performance of TiO2 Films

Keywords： TiO2 film , photocatalytic performance , annealing , anatase , rutile

利用磁控溅射法制备得到二氧化钛薄膜,将薄膜在高温管式炉中分别进行退火,利用XRD、AFM和紫外-可见光谱仪研究了不同温度下退火前后薄膜的晶相结构、光学性能和光催化性能.结果表明,随着退火温度的升高二氧化钛的晶相由锐钛矿向金红石转变,600℃时为两相共存,表面颗粒大小也会有相应变化,锐钛矿相表现出了更好的光催化性能.

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退火工艺对二氧化钛薄膜光催化性能的影响

Influence of Annealing on the Photocatalytic Performance of TiO2 Films

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