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中国有色金属学报, 2016, 26(9): 2042-2048.

西门子法钟罩炉内三氯氢硅氢还原CVD宏观动力学模型

吴永 ^1,

基金项目:   宁夏高等学校优势特色专业建设项目(宁教高2012348)   Yinchuan Energy Research,China(2012)   银川能源学院科研基金资助项目(2012年度)Project(2012348) supported by Advantages and Features of Ningxia Colleges and University,China  

关键词： 反应工程 , 多晶硅 , 西门子法 , 三氯氢硅氢还原反应 , 化学气相沉积 , 宏观动力学模型

Macrokinetics model of CVD trichlorosilane hydrogen reduction in bell-type furnace on Siemens method

Keywords： reaction engineering , polysilicon , Siemens method , reduction reaction of hydrogen trichlorosilane , chemical vapor deposition , macroscopic kinetics model