MgxZn1-xO:Al靶材制备工艺和Mg掺杂对微观结构的影响研究

材料导报, 2009, 23(16): 95-98.

MgxZn1-xO:Al靶材制备工艺和Mg掺杂对微观结构的影响研究

黄竹 ^1, , 王华 ^2, , 许积文 ^3, , 杨玲 ^4, , 任明放 ^5,

1.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004

2.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004

3.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004

4.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004

5.桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004

基金项目: 广西教育厅基金(桂教科研200734)

关键词： MgxZn1-xO:Al靶材 , 预烧 , Mg含量 , 烧结工艺 , 微观结构

Research on Preparation of MgxZn1-xO:Al Target and Influence of Mg Doping on the Microstructure

以纳米级的ZnO、MgO和Al2O3粉体为原料,经过湿式球磨得到了混合粉体,采用常压固相烧结的方法制备了高致密度MgXZn1-XO:Al陶瓷靶材,研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响.研究表明,预烧粉体可以减少第二相的生成;随着Mg掺杂量的增加,MgO立方相逐渐增多,在x=0.3时产生了相分离;在1100～1300℃内,随着烧结温度的升高,靶材的晶粒大小和密度逐渐增大,增大趋势在1300℃后变缓,1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的MgxZn1-xO:Al靶材.

参考文献

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Research on Preparation of MgxZn1-xO:Al Target and Influence of Mg Doping on the Microstructure

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