石墨上化学气相沉积SiC组织特征与性能

稀有金属材料与工程, 2007, 36(z1): 960-963.

石墨上化学气相沉积SiC组织特征与性能

张显 ^1, , 成来飞 ^2, , 张立同 ^3, , 徐永东 ^4,

1.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071;西北工业大学超高温复合材料实验室,陕西,西安,710072

2.西北工业大学超高温复合材料实验室,陕西,西安,710072

3.西北工业大学超高温复合材料实验室,陕西,西安,710072

4.西北工业大学超高温复合材料实验室,陕西,西安,710072

基金项目: 国家自然科学基金(10076013)

关键词：石墨 , 碳化硅 , 化学气相沉积 , 组织结构

Microstructure and Performance of Chemical Vapor Deposition SiC on Graphite

利用压汞法、SEM和EDS等分析手段对石墨及化学气相沉积SiC组织结构进行了研究.石墨试样的比表面测试显示:经2200℃高温处理石墨试样的比表面积较未处理试样增大了近34%.石墨试样的孔径分布显示:高温处理石墨试样的孔径分布在＜10 nm和＞200 nm有所增加,而界于两者之间的中型孔径分布略有降低,从而证明了热处理中大量原子发生一定范围的重排.SEM和EDS分析表明,高温处理过的石墨沉积SiC具有CVI结构特征;经过高温处理的石墨SiC沉积呈CVI特征,而未经高温处理石墨沉积的SiC呈典型CVD特征.对CVD SiC/graphite再经1600℃处理,对强度影响不大.

参考文献

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[2]	Reiner R H .Liquid Uranium Reaction With Coated Graphite Crucibles[Y-2379,Washington,DC][R].,1987.
[3]	张显,成来飞,张立同,徐永东.铀及铀合金熔体与石墨坩埚涂层反应的热力学分析[J].稀有金属材料与工程,2003(03):187-190.
[4]	Reiner R H;Holcombe C E .Carbon Monoxide Reaction with Liquid Uranium-Niobium Alloys[Y-2378,Washington,D C][R].,1986.
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[10]	Stinton D P et al.[J].American Ceramic Society Bulletin,1988,67(02):350.
[11]	徐永东.低温化学气相沉积SiC的组成、组织结构及高温稳定性[J].人工晶体学报,1996(03):225.

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