SmCo7永磁薄膜的高温磁性能

稀有金属材料与工程, 2014, 43(10): 2335-2338.

SmCo7永磁薄膜的高温磁性能

1.成都信息工程学院,四川成都610225

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4.成都信息工程学院,四川成都610225

基金项目: Scientific Research Foundation of CUIT (KYTZ201112) Young and Middle-Aged Academic Leaders of Scientific Research Funds of CUIT (J201222)

关键词：稀土永磁 , SmCo薄膜 , 高温应用 , MEMS

Magnetic Properties of SmCo7 Permanent Magnetic Films for High Temperature Applications

Keywords： rare earth permanent magnets , SmCo films , high temperature applications , MEMS

研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能.结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响.根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系.该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏.此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用.

参考文献

[1]	Budde T.;Gatzen HH. .Patterned sputter deposited SmCo-films for MEMS applications[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2002(2):1146-1148.
[2]	Gjoka M.;Kalogirou O.;Sarafidis C.;Niarchos D.;Hadjipanayis GC. .Structure and magnetic properties of RCo7-xMnx alloys (R = Sm, Gd; x=0.1-1.4)[J].Journal of Magnetism and Magnetic Materials,2002(2):844-846.

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