基于高阻硅衬底的超导共面波导谐振腔及其动态电感分析

低温物理学报 , 2013, 35(2): 109-112.

1.南京大学电子科学与工程学院超导电子学研究所,南京210093

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基金项目: 江苏省杰出青年基金(BK2012013) 中央高校基本科研业务费专项资金资助的课题国家自然科学基金面上项目(11074114)

SUPERCONDUCTING COPLANAR WAVEGUIDE RESONATOR AND ITSKINETIC INDUCTANCE ONTHE HIGH RESISTIVITY SILICON SUBSTRATE

本文详细介绍了在微波频段,高阻硅衬底上的超导共面波导谐振腔的研究,包括设计方法、制备流程、实验测量和数据分析,并且对NbN和Nb两种材料进行了实验对比.由于超导体中动态电感的存在,我们还对两种超导材料在不同厚度的情况下进行了测量,并且与理论计算结果进行了比较.

[1]	Luigi Frunzio;Andreas Walkaff;David Schuster;Johannes Majer;Robert Schoelkopf .Fabrication and Characterization of Superconductin: Circuit QED Devices for Quantum Computation[J].IEEE Transactions on Applied Superconductivity: A Publication of the IEEE Superconductivity Committee,2005(2 Pt.1):860-863.
[2]	李大春,许伟伟,花涛,安德越,郁梅,陈健,吴培亨.高温超导双晶结混频器噪声系数测量[J].低温物理学报,2012(05):359-363.

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