采用喷淋蚀刻工艺对738模具钢进行微细蚀刻加工,研究了蚀刻加工中掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量的影响.通过单因素方差分析对因素水平进行显著性检验,采用OriginPro 8.0拟合测蚀量与掩膜间隙、蚀刻温度关系的方程.结果表明,掩膜间隙和蚀刻温度对侧蚀量有显著性影响;在30℃蚀刻时,侧蚀量随掩膜间隙的增大先快速增大后减小;在150 μm掩膜间隙下蚀刻,侧蚀量随蚀刻温度的增加而增加.
参考文献
| [1] | O. Cakir;H. Temel;M. Kiyak .Chemical etching of Cu-ETP copper[J].Journal of Materials Processing Technology,2005(0):275-279. |
| [2] | G. Legnani;D. Tosi;I. Fassi;H. Giberti;S. Cinquemani .The "point of isotropy" and other properties of serial and parallel manipulators[J].Mechanism and Machine Theory: Dynamics of Machine Systems Gears and Power Trandmissions Robots and Manipulator Systems Computer-Aided Design Methods,2010(10):1407-1423. |
| [3] | 李佳,李德良,莫凌.硝酸型酸性蚀刻液蚀刻工艺的研究[J].表面技术,2010(03):87-89. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%