激光微加工纳米孔Al2O3陶瓷膜的方法及分析

稀有金属材料与工程, 2008, 37(z1): 817-820.

激光微加工纳米孔Al2O3陶瓷膜的方法及分析

施云波 ^1, , 郭建英 ^2, , 张洪泉 ^3, , 时强 ^4,

1.哈尔滨理工大学,黑龙江,哈尔滨,150080

2.哈尔滨理工大学,黑龙江,哈尔滨,150080

3.哈尔滨理工大学,黑龙江,哈尔滨,150080

4.哈尔滨理工大学,黑龙江,哈尔滨,150080

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2003CCC01100)

关键词：激光微加工 , 纳米孔陶瓷膜 , 声光调Q频率

The Method and Analysis of Laser Micro-Processing Nanometer Porous Al2O3 Ceramic Film

针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题,提出激光微加工的方法.阐述了激光微加工的原理.通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲.论述了纳米孔Al2O3膜的电化学定向生长及其微加工过程,扫描电镜揭示了纳米孔Al2O3膜易碎易断的内在原因,加工区域略有灼烧现象.分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系,影响区最小时,调Q频率在9 kHz左右.电流应控制在10～20A.

参考文献

[1]	Johnson K L.[A].San Diego:Int Power Bean Socing,2002
[2]	Domack S;Baughman F M .[J].Apird Rototyping Avraal,2005,11(01):41.
[3]	江小雪,赵乃勤.多孔氧化铝膜的制备与形成机理的研究概况[J].功能材料,2005(04):487-489,494.
[4]	Karlitscheck P;Hillrichs G .[J].Applied Physics,2003,64(01):21.

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激光微加工纳米孔Al2O3陶瓷膜的方法及分析

The Method and Analysis of Laser Micro-Processing Nanometer Porous Al2O3 Ceramic Film

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