TiO2/SiO2一维光子晶体的制备及其光子带隙特性

表面技术 , 2013, 42(5): 11-28.

TiO2/SiO2一维光子晶体的制备及其光子带隙特性

蒋礼 ^1, , 宋少杰 ^2, , 杜作娟 ^3, , 黄小忠 ^4, , 刘冀洵 ^5,

1.中南大学物理与电子学院,长沙410083

2.中南大学物理与电子学院,长沙410083

3.中南大学物理与电子学院,长沙410083

4.中南大学物理与电子学院,长沙410083

5.中南大学物理与电子学院,长沙410083

基金项目: 国家"863计划"(2012AA7024034) 研究生自助探索项目(2013zzts158) 710装备预研(A-12-39)

关键词：溶胶-凝胶法 , 一维光子晶体 , 反射光谱

Preparation and Photonic Band Gap Properties of TiO2/SiO2 1-D Photonic Crystal

JIANG Li ^1, , SONG Shao-jie ^2, , DU Zuo-juan ^3, , HUANG Xiao-zhong ^4, , LIU Ji-xun ^5,

1.中南大学物理与电子学院,长沙410083

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5.中南大学物理与电子学院,长沙410083

Keywords： sol-gel process , 1-D photonic crystal , reflectance spectrum

以普通载玻片为基体,采用溶胶-凝胶法制备了Ti02/Si02一维光子晶体,对该结构的截面形貌、各层厚度及结晶形态、反射谱特性进行了分析.结果表明:TiO2和SiO2膜的平均厚度分别为69 nm和83 nm,结晶形态分别为锐钛矿和无定形态；该结构在波长544 nm处的反射率达到了94％,且其FWHM=194 nm(486～ 680nm).运用传输矩阵法对该结构进行仿真计算,得到的计算结果与测试结果趋于一致.最后讨论了入射角对一维光子晶体反射谱的影响.

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