NiTiO3薄膜的溶胶-凝胶工艺研究

人工晶体学报, 2010, 39(6): 1461-1469.

NiTiO3薄膜的溶胶-凝胶工艺研究

郝品 ^1, , 黄剑锋 ^2, , 曹丽云 ^3, , 王培霖 ^4,

1.陕西科技大学,教育部轻化工助剂化学与技术重点实验室,西安,710021

2.陕西科技大学,教育部轻化工助剂化学与技术重点实验室,西安,710021

3.陕西科技大学,教育部轻化工助剂化学与技术重点实验室,西安,710021

4.陕西科技大学,教育部轻化工助剂化学与技术重点实验室,西安,710021

基金项目: 教育部博士点基金(20070708001) 国家自然科学基金(50942047) 陕西科技大学科研创新团队资助基金(TD09-05) 陕西科技大学研究生创新基金

关键词： NiTiO3 , 溶胶-凝胶法 , 保温时间 , 溶胶浓度

Study on Preparation Technology of NiTiO3 Thin Films by Sol-gel Method

以无机镍盐和钛酸四丁酯为起始原料,柠檬酸为络合剂,采用溶胶-凝胶法制备了NiTiO3薄膜.采用X射线衍射(XRD)、综合热分析仪(DSC/TG)、场发射扫描电镜(FESEM)对制备的薄膜进行了测试和表征.研究了保温时间,溶胶浓度对钛酸镍薄膜晶相组成、显微结构的影响.结果表明:保温时间为3 h,溶胶浓度为0.5 mol/L是制备NiTiO3薄膜的最佳工艺条件;随着保温时间的延长,薄膜的结晶度和致密度均有所提高;在1～0.5 mol/L的浓度范围内,溶胶浓度的降低有利于薄膜的生长.

参考文献

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