Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析

功能材料, 2007, 38(7): 1097-1101.

Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析

杨帆 ^1, , 费维栋 ^2, , 高忠民 ^3, , 蒋建清 ^4,

1.东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189;哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001

2.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001

3.吉林大学,化学学院,吉林,长春,130012

4.东南大学,材料科学与工程学院,江苏,南京,211189

基金项目: 江苏省博士后科学基金(0602001A)

关键词： Pb(Zr,Ti)O3薄膜 , X射线二维衍射 , 多晶面探衍射仪 , 残余应力

Micro area residual stress analysis of ferroelectric films by means of XRD2 technique

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.

参考文献

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