利用自组装单层膜技术,在玻璃基板上生长有机硅烷单分子膜层,以Hf(SO4)2·4H2O和HCl配制HfO2前驱液,通过液相沉积在硅烷的功能性官能团上诱导生成二氧化铪薄膜.通过接触角测试仪、AFM、SEM及XRD等手段对膜材料的表面形貌和结构进行了研究分析.结果表明,利用自组装单层法成功制备出立方型的HfO2晶态薄膜,薄膜表面均一.
参考文献
| [1] | 田书凤,彭英才,范志东,张弘.高k值HfO2栅介质材料电学特性的研究进展[J].材料导报,2007(01):22-26. |
| [2] | 何刚 等.高介电HfO2薄膜的制备及其结构和界面特性研究[J].功能陶瓷,2004,35:1433. |
| [3] | 邱成军,曹茂盛,朱静,杨慧静.纳米薄膜材料的研究进展[J].材料科学与工程,2001(04):132-137. |
| [4] | Gao YF;Koumoto K .Bioinspired ceramic thin film processing: Present status and future perspectives[J].Crystal growth & design,2005(5):1983-2017. |
| [5] | Smith Rachel K;Lewis Penelope A;Weiss Paul S .Patterning self-assembled monolayers[J].Progress in Surface Science,2004,75:1. |
| [6] | Liu J;Kim A Y;Wang L Q et al.Self-assembly in the synthesis of ceramic materials and composites[J].Advances in Colloid and Interface Science,1996,69:131. |
| [7] | Frank Schreiber .Structure and growth of self-assembling monolayers[J].Progress in Surface Science,2000(5/8):151-256. |
| [8] | 葛琦,张俊英,杨春,王天民,郑权.TiO2静电自组装薄膜在不同光源下的杀菌性能[J].稀有金属材料与工程,2005(10):1642-1645. |
| [9] | 刘建强,甄强,何伟明,潘庆谊.纳米氧化铪粉体的制备及表征[J].功能材料,2004(06):730-733. |
| [10] | 阎志军,王印月,徐闰,蒋最敏.电子束蒸发制备HfO2高k薄膜的结构特性[J].物理学报,2004(08):2771-2774. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%