夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究

功能材料, 2006, 37(2): 194-199.

夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜巨磁阻抗效应研究

商干兵 ^1, , 周勇 ^2, , 余先育 ^3, , 丁文 ^4, , 周志敏 ^5, , 曹莹 ^6,

1.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

2.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

3.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

4.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

5.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

6.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030

基金项目: 教育部科学技术研究项目(重大0307) 上海市科委资助项目(0352nm014) 中国科学院资助项目(50275096;10402023)

关键词：巨磁阻抗效应 , 夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 , MEMS技术

Giant magneto-impedance in sandwiched FeNi/Cu/FeNi films

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,并在1～40MHz范围内研究了它的巨磁阻抗效应.纵向巨磁阻抗效应先随着外加磁场的增大而迅速增加,在某一磁场下达到最大值后随磁场的增加而逐渐减小.在频率为5MHz时,Hext为0.8kA/m时巨磁阻抗效应最大值达到32.06%.另外,夹心结构多层膜表现出较大的负巨磁阻抗效应,在频率5MHz,Hext=9.6kA/m时,负最大巨磁阻抗效应可达-24.50%.

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