基体温度对气相沉积聚氯代对二甲苯膜结构与性能的影响

高分子材料科学与工程, 2009, 25(8): 40-46.

基体温度对气相沉积聚氯代对二甲苯膜结构与性能的影响

陈艳平 ^1, , 帅茂兵 ^2, , 鲜晓斌 ^3, , 吉祥波 ^4, , 唐贤臣 ^5,

1.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

2.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

3.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

4.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

5.中国工程物理研究院,四川,绵阳,621900

关键词：聚氯代对二甲苯膜 , 基体温度 , 微观结构 , 渗透性

Effect of Substrate Temperature on the Microstructure and Properties of Vapor Deposited Poly(Chloro-Para-Xylylene)Thin Films

用化学气相沉积法制备的聚氯代对二甲苯膜具有优异的耐溶剂腐蚀及气体阻隔性能.文中采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)表征了不同基体温度下制备聚氯代对二甲苯膜的微观组织结构;采用MOCON透湿仪测试了其水汽渗透率.结果表明,随基体温度升高,膜内聚合物分子链取向度先升高、后降低,且在较高温度下聚合物苯环基团更倾向于垂直基体表面.水汽在膜内渗透速率随基体温度升高先降低、后升高,且在约30℃～45℃处达到最低值.

参考文献

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[5]	张颖,王志,王世昌.高分子膜结构对气体传递的影响[J].高分子材料科学与工程,2004(04):24-27.

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