根据燃烧化学沉积法的相变动力学特点,以反应物密度的变化为相变动力学变量,建立了燃烧化学沉积法的相变动力学模型,按照完全燃烧、雾化剂不过量和雾化效果良好的原则,通过初始液体雾化研究和相变动力学实验获得了实现良好雾化效果的实验参数,制备了均匀致密的α-Al2O3纳米陶瓷薄膜,并运用SEM和TEM等分析了α-Al2O3纳米陶瓷薄膜的显微形貌和结构.
参考文献
[1] | 田永生,陈传忠,王德云,陈丽霞,雷廷权.陶瓷薄膜制备技术研究进展[J].材料科学与工艺,2005(04):427-430,434. |
[2] | 周昊,介万奇,查钢强,高俊宁.真空蒸发沉积CdZnTe纳米薄膜的结构与形貌[J].功能材料,2010(02):282-284. |
[3] | 廖国进,骆红,闫绍峰,巴德纯,闻立时.中频反应磁控溅射制备Al2O3:CeCl3薄膜及其光致发光特性[J].稀有金属材料与工程,2009(04):700-704. |
[4] | Chaure N B;Chaure S;Pandey R K .[J].Electrochimica Acta,2008,54:296-304. |
[5] | 刘红飞,程晓农,张志萍.脉冲激光沉积法制备ZrW2O8薄膜[J].硅酸盐学报,2009(05):755-759. |
[6] | Ma ZQ;Zhao WG;Wang Y .Electrical properties of Na/Mg co-doped ZnO thin films[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2007(24):8611-8614. |
[7] | 刘金生.离子束沉积薄膜技术及应用[M].北京:国防工业出版社,2003:45. |
[8] | Hirose Y.[J].Journal of the Japan Society for Precision Engineering,1987(53):1507. |
[9] | Matsui;Yabe Y;HiroseH et al.[J].Japanese Journal of Applied Physics,1990,29(08):19. |
[10] | 唐德文,匡同春,白晓军,李喜峰.燃烧火焰法合成金刚石薄膜的机理探讨[J].有色金属(冶炼部分),2003(04):48-51. |
[11] | 黄树涛,张志军,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,1999(01):74-78. |
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