利用二维X射线衍射线形分析方法，分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形。结果表明，薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异，主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关，其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大，同时该方向的显微畸变最小。
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