低温共烧陶瓷发展进程及研究热点

材料导报, 2000, 14(4): 30-33.

1.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

2.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

3.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

4.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

5.清华大学材料科学与工程系,北京,100084

基金项目: 中国科学院资助项目(69836030)

History and Research Focus of Low Temperature Cofired Ceramics

低温共烧陶瓷(LTCC)是现代微电子封装中重要的研究分支,主要用于高速、高频系统.介绍了低温共烧陶瓷的发展历程及其中包含的若干重大研究热点,如铜布线工艺、收缩率匹配、LTCC散热等.

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