TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能

稀有金属材料与工程, 2014, 43(6): 1412-1416.

TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能

许俊华 ^1, , 薛雅平 ^2, , 曹峻 ^3, , 喻利花 ^4,

1.江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏镇江212002

2.江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏镇江212002

3.江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏镇江212002

4.江苏科技大学江苏省先进焊接技术重点实验室,江苏镇江212002

关键词： TaMoN复合膜 , 磁控溅射 , 微结构 , 力学性能 , 摩擦性能

Microstructures, Mechanical and Friction Properties of TaMoN Composite Films

Keywords： TaMoN composite films , magnetron sputtering , microstructure , mechanical properties , friction properties

采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫描电子显微镜及其配套的能谱仪研究复合膜的相组成、力学性能、室温和高温下的摩擦性能.结果表明,TaMoN复合膜的微结构是由面心立方、密排六方与底心斜方组成的多相结构;TaMoN复合膜的硬度比TaN单层膜的硬度高,且随着Mo含量的增加先升高后降低,在Mo含量为52.68 at％时达到最大值,为33.9 GPa;Mo元素的添加可以有效改善TaN薄膜在常温和高温下的摩擦性能,通过对磨痕的分析,详细解释了TaMoN复合膜具有优异的减摩性能的原因.

参考文献

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能

Microstructures, Mechanical and Friction Properties of TaMoN Composite Films

参考文献