通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果.结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长周期,提高晶体质量.
参考文献
| [1] | 纪秀峰.蓝宝石晶体生长工艺及设备[J].电子工业专用设备,2011(07):7-10,22. |
| [2] | Mark S. Akselrod;Frank J. Bruni.Modern trends in crystal growth and new applications of sapphire[J].Journal of Crystal Growth,2012:134-145. |
| [3] | 徐建卫.温梯法大尺寸白宝石单晶的生长[J].人工晶体学报,1998(03):242. |
| [4] | Guoqing Zhou;Yongjun Dong;Jun Xu;Hongjun Li;JiLiang Si;Xiaobo Qian;Xiaoqin Li .Φ140 mm sapphire crystal growth by temperature gradient techniques and its color centers[J].Materials Letters,2006(7):901-904. |
| [5] | 许承海,孟松鹤,韩杰才,左洪波,张明福.环境参数对GOI法蓝宝石晶体生长影响分析[J].哈尔滨工业大学学报,2006(07):1020-1024,1037. |
| [6] | Chun-Hung Chen;Jyh-Chen Chen;Chung-Wei Lu;Che-Ming Liu .Numerical simulation of heat and fluid flows for sapphire single crystal growth by the Kyropoulos method[J].Journal of Crystal Growth,2011(1):162-167. |
| [7] | Wencheng Ma;Lili Zhao;Guoqiang Ding;Yang Yang;Tiezheng Lv;Ming Wu;Lijun Liu.Numerical study of heat transfer during sapphire crystal growth by heat exchanger method[J].International Journal of Heat and Mass Transfer,2014:452-460. |
| [8] | 许承海,韩杰才,张明福,孟松鹤,左洪波.SAPMAC法生长蓝宝石晶体的温场设计、工艺分析与控制[J].无机材料学报,2007(02):344-348. |
| [9] | 杨琳,左然,苏文佳,娄中士.泡生法蓝宝石不同生长阶段热应力的数值模拟研究[J].材料导报,2012(22):134-137. |
| [10] | 许承海,孟松鹤,杜善义,左洪波,张明福.GOI法蓝宝石单晶生长温场优化设计与模拟分析[J].航空材料学报,2006(05):81-85. |
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