脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展

材料导报, 2005, 19(2): 69-71.

脉冲激光沉积(PLD)的研究动态与新发展

高国棉 ^1, , 陈长乐 ^2, , 陈钊 ^3, , 李谭 ^4, , 王永仓 ^5, , 金克新 ^6, , 赵省贵 ^7,

1.西北工业大学理学院,西安,710072;空军工程大学理学院,西安,710052

2.西北工业大学理学院,西安,710072

3.西北工业大学理学院,西安,710072

4.西北工业大学理学院,西安,710072

5.西北工业大学理学院,西安,710072;空军工程大学理学院,西安,710052

6.西北工业大学理学院,西安,710072

7.西北工业大学理学院,西安,710072

基金项目: 陕西省自然科学基金(2001C21) 国家自然科学基金(50331040,60171043) 西北工业大学校科研和教改项目(200242)

关键词： PLD , 等离子体 , 薄膜沉积

Review of Pulsed Laser Deposition Technology

介绍了脉冲激光沉积薄膜技术的原理、特点,详细探讨了脉冲激光沉积的研究动态和发展趋势.大量研究表明,PLD技术是目前制备薄膜的最好方法之一.

参考文献

[1]	DijkkampD;Venkatesan T;Wu X D et al.[J].Applied Physics Letters,1987,51(08):619.
[2]	Vispute RD;Talyansky V;Sharma RP;Choopun S;Downes M;Venkatesan T;Jones KA;Iliadis AA;Khan MA;Yang JW .Growth of epitaxial GaN films by pulsed laser deposition[J].Applied physics letters,1997(1):102-104.
[3]	Horwitz JS.;Stroud RM.;Carter AC.;Kim J.;Chang W.;Pond JM.;Kirchoefer SW.;Osofsky MS.;Koller D.;Chrisey DB. .Pulsed laser deposition as a materials research tool[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,1998(0):507-513.
[4]	Yong-Tae Shin;Seung-Woo Shin;Jeongmi Shin;Kwanghee Lee;Myoungsik Cha .Pulsed laser deposition of a thin conjugated-polymer film[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2000(1/2):13-16.
[5]	XinJuYang;Yong Xin Tang et al.[J].Thin Solid Films,2000,358:187.
[6]	陈传忠,姚书山,包全合,张亮,雷廷权.脉冲激光沉积羟基磷灰石薄膜的研究现状[J].激光技术,2004(01):74-77.
[7]	SinghRK;Narayan J.[J].PHYSICAL REVIEW B,1990(41):8843.
[8]	郑启光.激光先进制造技术[M].武汉:华中科技大学出版社,2001:223.
[9]	RogerKelly.[J].D B Chriseyeds,1994:55.
[10]	AmorusoS .[J].Surface Science Applications,1999,138-139:292.
[11]	ThomasP.[J].Biggers Proceedings of SPIE,2002:81.
[12]	TatarakisM;Watts I .[J].Nature,2002,415:280.
[13]	张端明,关丽,李智华,钟志成,侯思普,杨凤霞,郑克玉.脉冲激光制膜过程中等离子体演化规律的研究[J].物理学报,2003(01):242-246.
[14]	OzegowskisM et al.[J].Surface Science Applications,1998,127-129:614.
[15]	胡少六,江超,龙华,王又青.AZO薄膜双靶PLD沉积及其光学性能分析[J].压电与声光,2004(02):119-121.
[16]	LeuchtnerRE;et al;ed by Chrisey D B.In pulsed laser deposition of thin films[M].Wiley :New York,1994
[17]	WangYQ;Huang X T et al.[M].SPIE,1999,3862:493.
[18]	Pui-ManLam;Liu S J et al.[J].Physical Review B,2002,66:045408.
[19]	JensGottmann;Georg Schlaghecken.[C].Proceedings of SPIE,2004:333.
[20]	ItinaE .[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,2001,180:112.
[21]	GamalyEG et al.[J].Journal of Applied Physics,1999,85(08):4213.
[22]	RodeAV et al.[J].Journal of Applied Physics,1999,85(08):4222.
[23]	Siemroth P.;Scheibe H.-J. .The method of laser-sustained arc ignition[J].IEEE Transactions on Plasma Science,1990(6):911-916.
[24]	OngCK;Xu S Y et al.[J].Review of Scientific Instruments,1998,69(10):3659.

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