Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

功能材料, 2004, 35(z1): 3400-3404.

Micro-Raman光谱鉴定碳化硅单晶的多型结构

王丽 ^1, , 胡小波 ^2, , 董捷 ^3, , 李娟 ^4, , 姜守振 ^5, , 李现祥 ^6, , 徐现刚 ^7, , 王继扬 ^8, , 蒋民华 ^9,

1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100

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基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA311080) 国家自然科学基金(60025409)

关键词：显微激光Raman光谱 , X射线摇摆曲线 , SiC单晶 , 多型鉴定

Polytypes identification of SiC crystal by micro-raman spectroscopy

利用激光拉曼光谱仪测量了SiC单晶中不同多型的显微Raman光谱.在Raman光谱中,最大强度的FTA模和FTO模应出现在其简约波矢x等于该多型的六角度h处,据此对4H-SiC单晶中的多型进行了鉴定.同时采用高分辨X射线衍射测量了该晶片不同区域的摇摆曲线,将不同多型体的计算衍射角与实验值加以比较,对SiC晶片中的多型进行了标注,所得结论与激光Raman光谱测定结果相一致,说明Raman光谱是一种简单、快速地鉴定多型结构的强有力的工具.实验结果表明,在升华法生长4H-SiC单晶过程中,容易出现寄生6H、15R多型同4H多型的竞争生长,简单分析了寄生多型产生的原因.

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