描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理．主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法：第一种方法，用于测量沉积在钼丝上的TiN／Ti(C，N)多层膜的切变模量和内耗；第二种方法，用于探测钢片表面微量油膜的存在．尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象，但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.
参考文献
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