超硬纳米多层膜的材料选择与结构设计

机械工程材料, 2010, 34(10): 68-95.

1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

2.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

3.大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连,116024

4.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

5.中国科学院金属研究所,沈阳,110016

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(50801062)

Material Selection and Structure Design for Superhard Nano-multilayer Film

综述了近年来超硬纳米多层膜材料选择与结构设计的研究进展,主要介绍了多层膜的选材,从构成多层膜的材料种类、膜与基体的选择、多层膜材料的选择以及从超硬效应理论得到的启示等几个方面总结了多层膜实现超硬特性时要考虑的因素,并指出了目前存在的问题及今后的发展方向.

[1]	Voevodin AA.;Laube SJP.;Donley MS.;Zabinski JS.;Capano MA. .DESIGN OF A TI/TIC/DLC FUNCTIONALLY GRADIENT COATING BASED ON STUDIES OF STRUCTURAL TRANSITIONS IN TI-C THIN FILMS[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1997(1/2):107-115.
[2]	任毅,周家斌,付志强,王成彪,吕建国,于翔,彭志坚.纳米多层超硬膜力学性能研究进展[J].金属热处理,2007(05):6-9.
[3]	李戈扬,虞晓江,吴桢干,许俊华,顾明元.TaN/NbN纳米多层膜的力学性能与耐磨性[J].真空科学与技术学报,2002(01):1-4.
[4]	胡晓萍,董云杉,孔明,李戈扬,顾明元.TiN/Si3N4纳米多层膜的生长结构与超硬效应[J].真空科学与技术学报,2005(04):263-267,274.
[5]	Li TS.;Pan F.;Li H. .Microstructure and nanoindentation hardness of Ti/TiN multilayered films[J].Surface & Coatings Technology,2001(2/3):225-229.
[6]	张绪寿,余来贵,陈建敏.表面工程摩擦学研究进展[J].摩擦学学报,2000(02):156-160.

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