采用新型La0.07Sr0.93SnO3电极制备外延透明BiFe0.95Mn0.05O3铁电薄膜电容器

低温物理学报 , 2010, 32(6): 414-418.

采用新型La0.07Sr0.93SnO3电极制备外延透明BiFe0.95Mn0.05O3铁电薄膜电容器

焦兴利 ^1, , 王海峰 ^2, , 刘亲壮 ^3, , 訾玉宝 ^4, , 吴文彬 ^5,

1.合肥微尺度物质国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

2.合肥微尺度物质国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

3.合肥微尺度物质国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

4.合肥微尺度物质国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

5.合肥微尺度物质国家实验室,中国科学技术大学,合肥,230026

基金项目: 国家基础研究项目(2006CB922005和2009CB929502) 国家自然科学基金(10874166和50721061)

关键词：铁酸铋 , 透明铁电电容器 , 脉冲激光沉积

FABRICATION OF EPITAXIAL AND TRANSPARENT BiFe0.95Mn0.05O3 FERROELECTRIC CAPACITORS WITH La0.07Sr0.93SnO3 ELECTRODES

本文使用脉冲激光沉积的方法在SrTiO3(STO)单晶衬底上采用一种新型的透明导电氧化物材料La0.07Sr0.93SnO3(LSSO)薄膜作为电极材料制备了BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)铁电薄膜电容器.XRD表征结果证实BF-MO/LSSO/STO外延异质结具有很好的单晶质量.光透过率的测试结果表明在500～2500nm的波长范围内,整个异质结的透光率与单纯STO衬底基片相似.在波长500nm附近BFMO出现吸收边,通过对吸收边进行(hva)2-hv曲线拟合得到BFMO的直接光学带隙约为2.8eV.利用Pt作为上电极,我们测得了饱和的电滞回线,剩余极化Pr～60μC/cm2.

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