RF-PCVD法制备TiO2纳米微晶动力学分析

材料科学与工艺, 2009, 17(2): 199-207.

RF-PCVD法制备TiO2纳米微晶动力学分析

王俊文 ^1, , 孙彦平 ^2, , 陈新谋 ^3,

1.太原理工大学,洁净化工研究所,山西,太原,030024

2.太原理工大学,洁净化工研究所,山西,太原,030024

3.石家庄开发区新谋新科技有限公司,河北,石家庄,050091

基金项目: 山西省青年科技研究基金(20051009) 山西省留学回国人员科研启动基金(2004-23) 山西省专利推广实施项目(2006-05)

关键词：高频等离子体 , 化学气相沉积 , 纳米粉体 , 二氧化钛 , 动力学

Kinetics analysis preparation of TiO2 nano-microcrystals by RF-Plasma CVD

本文分析了以TiCl4+O2为反应体系的RF-PCVD反应器内TiO2气相反应、成核和粒子长大过程,采用分子动力论中的Brownian碰撞理论,经合理简化,建立了粒子长大的动力学模型,该数模为一非线性一阶微分方程,描述TiO2微晶长大的速率.模型表明:粒子的长大速率与温度的1/2次方、TiO2的浓度成正比,与粒径的3/2方成反比;故体系中存在长大过程的自约束现象,在实验条件下,根据粒子长大数模的计算值与实验结果相接近.

参考文献

[1]	王俊文,孙彦平,梁镇海,徐海萍,樊彩梅,陈新谋.RF-PCVD法纳米TiO2的制备及光催化研究[J].稀有金属材料与工程,2004(05):478-481.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

在本站搜索
王俊文孙彦平陈新谋
在百度学术搜索
王俊文孙彦平陈新谋
在万方数据库搜索
王俊文孙彦平陈新谋
在CNKI搜索
王俊文孙彦平陈新谋

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

RF-PCVD法制备TiO2纳米微晶动力学分析

Kinetics analysis preparation of TiO2 nano-microcrystals by RF-Plasma CVD

参考文献