钛膜表面氧气氧化层研究

材料导报, 2004, 18(5): 92-94.

钛膜表面氧气氧化层研究

刘文科 ^1, , 曹小华 ^2, , 彭述明 ^3, , 龙兴贵 ^4, , 李宏发 ^5, , 杨茂年 ^6, , 张晓红 ^7, , 颜登云 ^8, , 王维笃 ^9, , 杨本福 ^10,

1.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

2.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

3.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

4.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

5.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

6.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

7.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

8.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

9.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

10.中国工程物理研究院核物理与化学研究所,绵阳,621900

基金项目: 中国工程物理研究院预研项目(20020536) 中国工程物理研究院核物理与化学研究所科技创新项目(421040403)

关键词：钛膜 , 表面 , 氧化层 , 连续

The Study on Oxide Layer on the Surface of Titanium Film in the Oxygen

研究了钼基钛膜表面氧气氧化工艺;用XRD分析了氧气氢化层的物相,其物相随氧化条件而异,含有Ti、TiO2、TiO、Ti2O、Ti3O和Ti6O等多种物相;用XPS研究了氧气氧化层钛的主要价态,其主要价态为+4、+3和+2价;用AES深度剖析研究了氧气氧化层的厚度,并研究了温度、氧气压力和时间对氧气氧化层厚度影响的规律;所有氧气氧化层均不与腐蚀介质发生作用,证明了该氧化层致密连续.

参考文献

[1]	彭仁明;陈前.钛合金彩色阳极氧化及其抗接触腐蚀性能[A].北京:原子能出版社,1987:275.
[2]	Grajewski V;Uchida H H;Ffromm E .Oxygen Contamination of metal film produced by vacuum deposition[J].THIN SOLID FILMS,1990,193-194:990.
[3]	Rogers Jr J W;Erickson K L .Thermal ignition of ti-based pyrotechnics Ⅰ: Ti oxidation mechanism and kinetics[Z].SAND-86-1651C. DE87005843
[4]	Kofstad P.High-temperature oxidation of metal[M].Wiley:New York,1996:168.
[5]	Andrejewa W W;Jokovleva E A Z .[J].Physical Chemistry,1964,226(314):232.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网