Pr3+,Tm3+共注入氮化铝薄膜的光谱特性

人工晶体学报, 2016, 45(5): 1305-1309.

Pr3+,Tm3+共注入氮化铝薄膜的光谱特性

阳明明 ^1, , 王晓丹 ^2, , 曾雄辉 ^3, , 郭昀 ^4, , 张纪才 ^5, , 徐科 ^6,

1.上海大学材料科学与工程学院,上海200444;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州215123

2.苏州科技学院物理科学与技术系,苏州,215009

3.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州,215123

4.上海大学材料科学与工程学院,上海,200444

5.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州,215123

6.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,苏州,215123

基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973计划)(2012CB619305) 国家自然科学基金(61306004,51002179,11247023,51272270,61274127,61474133) 苏州纳米科技协同创新中心江苏省自然科学基金(BK20130263,BK2012630) 中科院引进国外杰出技术人才项目

关键词：氮化铝薄膜 , Tm3+ , Pr3+ , 光谱特性

Spectral Properties of Pr3+ , Tm3+ Co-doped AIN Thin Films

Keywords： AIN thin film , Tm3+ , Pr3+ , spectral property

采用离子注入的方法在氮化铝薄膜中实现pr3和Tm3元素的单掺杂和共掺杂.以Raman光谱为主要表征手段,对离子注入过程中薄膜内部的应力变化进行研究;以阴极荧光为主要表征手段,对其低温和室温下的发光特性进行研究.Raman光谱的结果显示,离子注入过程使得薄膜内部应力下降,而退火过程使得薄膜内部应力升高.阴极荧光光谱结果显示,AIN:Pr3+主要跃迁峰位于528 nm;AIN:Tm3+主要跃迁峰位位于467 nm;AIN:Pr3+,Tm3+主要跃迁峰位位于528 nm和467 nm.AIN:Tm3+的低温光谱显示,与1I6和1D2两个能态相关的跃迁峰相对强度会随着温度出现急剧变化,由此表明在Tm3+之间存在与温度相关的相互作用.

参考文献

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