ZnS/ZnSe红外材料两相界面结合技术的研究

硅酸盐通报 , 2013, 32(7): 1297-1300.

ZnS/ZnSe红外材料两相界面结合技术的研究

滕祥红 ^1, , 崔洪梅 ^2, , 高明 ^3, , 钱纁 ^4, , 肖红涛 ^5, , 张旭 ^6,

1.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

2.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

3.西安应用光学研究所,西安710061

4.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

5.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

6.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

关键词： ZnS , ZnSe , 界面 , 结合

Experimental Study on Combined Technology of ZnS/ZnSe Interface

TENG Xiang-hong ^1, , CUI Hong-mei ^2, , GAO Ming ^3, , QIAN Xun ^4, , XIAO Hong-tao ^5, , ZHANG Xu ^6,

1.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

2.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

3.西安应用光学研究所,西安710061

4.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

5.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

6.北京中材人工晶体研究院有限公司,北京100018

本文主要通过对CVDZnS表面进行不同的表面处理技术后经二次沉积ZnSe制备了ZnS/ZnSe复合材料,研究了ZnS/ZnSe复合材料的两相界面结合机理以及对红外透过率的影响.结果表明:采用等离子清洗后的ZnS有利于两相界面的结合,通过在ZnS表面刻蚀处理使两相界面形成牢固的镶嵌结构,有利于提高两相界面的结合强度.

参考文献

[1]	黄蓉,聂磊,文昌俊,余军星.硅圆片等离子表面活化直接键合工艺研究[J].电子世界,2012(21):103-104.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

ZnS/ZnSe红外材料两相界面结合技术的研究

Experimental Study on Combined Technology of ZnS/ZnSe Interface

参考文献