用溶胶-凝胶法采用快速退火方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BiFeO3(BFO)薄膜.通过淬火冷却与自然冷却的对比,研究了淬火冷却对BiFeO3(BFO)薄膜的结构、形貌及电性能的影响.XRD研究表明淬火未对薄膜的结晶产生显著的影响.扫描电镜研究表明淬火导致薄膜表面粗糙度增加并出现了裂纹.铁电性测试表明淬火冷却得到的薄膜,其铁电性得到了增强,同时,淬火使BiFeO3薄膜的漏电流增加.
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