探讨了典型气氛中热丝辐射、气体热传导与对流、化学反应生热等因素对衬底温度的影响,建立了三维热丝辐射和二维热流耦合有限元模型,研究了各工艺参数对衬底温度场及气相空间场的影响.结果表明H2占主导地位的气氛中衬底表面的氢原子重组放热对衬底温度有较大影响,氩气气氛中原子重组放热对衬底温度影响很小;热丝温度对衬底温度的影响最大;进气口到衬底的距离及进气口气体流速对衬底附近的流场影响最大,适当提高进气口到衬底的距离有助于提高衬底附近流场均匀性,增大进气速度有助于突破热障提高衬底表面流速,但同时加剧了衬底附近流场的不均匀性.
参考文献
| [1] | Lu W Z;Zuo D W;Wang M et al.Study on EDM Polishing of CVD Diamond Films[J].Key Engineering Materials,2006,315-316:464-486. |
| [2] | 卢文壮,左敦稳,王珉,黎向锋,徐锋,褚向前.大面积B掺杂CVD金刚石膜的制备研究[J].人工晶体学报,2004(05):726-730. |
| [3] | 于三.金刚石薄膜热沉的制备研究[J].人工晶体学报,1991(02):151. |
| [4] | Wolden C;Mitra S;Gleason K K .Radiative Heat Transfer in Hot-filament Chemical Vapor Deposition Diamond Reactors[J].Applied Physics A:Materials Science and Processing,1992,72(08):3750-3758. |
| [5] | Song G H;Sun C;Huang R F et al.Hear Transfer Simulation of HFCVD and Fundamentals of Diamond Vapor Growth Reactor Designing[J].Surface and Coatings Technology,2000,131:500-505. |
| [6] | 徐锋,左敦稳,卢文壮,李磊,王珉.HFCVD衬底三维温度场有限元法模拟[J].机械工程学报,2007(06):21-25. |
| [7] | 李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠.热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析[J].金属学报,2005(04):437-443. |
| [8] | 李磊,左敦稳,徐锋,黎向锋,卢文壮.HFCVD系统中衬底接触热阻的研究[J].人工晶体学报,2007(01):27-31,51. |
| [9] | 赵镇南.传热学[M].北京:高等教育出版社,2002:492-509. |
| [10] | Yarbrough W A;Tankala K;Mecray M et al.Hydrogen Assisted Heat Transfer during Diamond Growth Using Carbon and Tantalum Filaments (in Chinese)[J].Applied Physics Letters,1992,60(17):2068-2070. |
| [11] | 孙方宏,张志明,沈荷生,陈明,郭松寿.纳米金刚石薄膜的制备与应用[J].机械工程学报,2007(03):118-122. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%