采用真空电子束蒸发法制备TiO2/SiO2双层减反射膜,实现宽波段范围内的低反射率,以满足砷化镓三结太阳电池对入射光的需求.主要研究了基片温度、电子束流和充氧量对TiO2、SiO2单层膜性能(膜层厚度、折射率)的影响.研究过程中,按照三因素两水平的正交实验进行,用分光光度计对TiO2、SiO2薄膜样品的折射率进行测试.实验结果显示,两种氧化物介质膜的折射率均随基片温度和束流的升高而增加,随氧压的升高而降低,工艺参数对TiO2膜性能影响较大.
参考文献
| [1] | 白一鸣,陈诺夫,戴瑞烜,王鹏,彭长涛.色散效应对GaAs太阳电池双层减反射膜的影响[J].半导体学报,2006(04):725-729. |
| [2] | 陆剑峰,张忠卫,池卫英,王亮兴,陈鸣波,彭冬生.空间用GaAs/Ge太阳电池器件工艺研究[J].稀有金属,2004(03):508-510. |
| [3] | 杨文华,李红波,吴鼎祥.太阳电池减反射膜设计与分析[J].上海大学学报(自然科学版),2004(01):39-42. |
| [4] | 刘汉英,刘春明,肖志斌,王莹.空间太阳电池用光学薄膜[J].光学仪器,2006(04):164-167. |
| [5] | 孙少妮 .减反射薄膜膜系优化设计及工艺研究[D].东北大学,2006. |
| [6] | 杨园静,涂洁磊,李雷,姚丽.三结砷化镓叠层太阳电池的光学匹配设计与分析[J].云南师范大学学报（自然科学版）,2010(05):31-35. |
| [7] | 张义邴,柯一青,周迪帆,顾锦模,李明,朱红妹,钟敏建.一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统[J].真空,2009(03):46-48. |
| [8] | 韩莹莹 .TiO<,2>及其掺杂膜的制备、结构及性能研究[D].南京理工大学,2010. |
| [9] | 李云,王六定.电子束蒸发法制备TiO2薄膜的折射率研究[J].真空,2008(05):35-37. |
| [10] | Klyui NI.;Litovchenko VG.;Rozhin AG.;Dikusha VN.;Kittler M.;Seifert W. .Silicon solar cells with antireflection diamond-like carbon and silicon carbide films[J].Solar Energy Materials and Solar Cells: An International Journal Devoted to Photovoltaic, Photothermal, and Photochemical Solar Energy Conversion,2002(1/4):597-603. |
| [11] | 谭宇,梁宏军,刘永强,赵兴梅.用二氧化钛、二氧化硅和氟化镁膜料镀制0.4μm～1.1μm超宽带增透膜[J].应用光学,2007(05):623-626. |
| [12] | 杨文华,吴鼎祥,李红波.空间高效硅太阳电池减反射膜设计与数值分析[J].半导体学报,2004(09):1118-1122. |
| [13] | 肖祥江,涂洁磊.GaAs基底TiO2/SiO2减反射膜的反射率性能分析[J].人工晶体学报,2012(01):69-73. |
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