常用于X射线和γ射线探测器中的CdZnTe(CZT)晶片经机械抛光后表面存在损伤层和许多肉眼看不到的划痕,采用溴甲醇(Br2-CH3OH)腐蚀可有效去除损伤层和划痕,使表面变得光亮平整.但经Br2-CH3OH腐蚀的表面富Te而产生较大的表面漏电流,为此,采用H2O2溶液,NH4F/H2O2溶液,KOH-KCl溶液+NH4F/H2O2溶液二步法和溴水4种湿法化学钝化工艺,对CZT晶片表面进行了钝化处理,并对比了其钝化效果.结果表明:二步法钝化效果最好,表面漏电流降低4个数量级,NH4F/H2O2对CZT晶片表面的钝化效果较好,表面漏电流降低3个数量级.
参考文献
| [1] | 汪晓芹,介万奇,杨戈.CdZnTe晶片表面化学抛光研究[J].人工晶体学报,2005(05):790-793,804. |
| [2] | 金玮,桑文斌,李万万,葛艳辉,闵嘉华,张明龙.CdZnTe核辐射探测器表面物理和化学钝化研究[J].功能材料,2004(04):467-469. |
| [3] | 汪晓芹,介万奇,周安宁,李焕勇.CdZnTe晶片表面钝化研究[J].功能材料,2005(06):856-858. |
| [4] | 李万万,桑文斌,闵嘉华,郁芳,张斌,王昆黍.钝化处理对CdZnTe Γ射线探测器漏电流的影响[J].半导体光电,2003(05):312-315. |
| [5] | George M A .Study of electroless Au film deposition on ZnCdTe crystal surfaces[J].Journal of Applied Physics,1995,77(07):3134-3137. |
| [6] | 李国强,介万奇,华慧.根据红外透过率推断CdZnTe晶片的性能[J].红外与毫米波学报,2003(06):469-472. |
| [7] | 李国强,谷智,介万奇.Cd补偿垂直布里奇曼法生长Cd0.9Zn0.1Te晶体[J].功能材料,2003(01):95-97,99. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%