以正硅酸乙酯为硅源、以氨水为催化剂、十六烷基三甲基溴化铵为结构导向模板剂,在单分散实心氧化硅(Solid-SiO2,sSiO2)内核表面包覆介孔氧化硅(Mesoporous-SiO2,MSiO2)外壳,合成了同质异构氧化硅(sSiO2/MSiO2)核/壳复合磨粒.用小角XRD、FESEM、HRTEM、FTIR、TGA和氮气吸附-脱附等手段对样品的结构进行了表征.结果表明,具有放射状介孔孔道的MSiO2均匀连续包覆在sSiO2内核(210-230 nm)外表面,形成了厚度为70-80 nm的外壳.壳层中的介孔孔道(孔径约2-3 nm)基本垂直于内核表面,且复合磨粒样品具有较大的比表面积(558.2 m2/g).用AFM形貌分析和轮廓分析评价了所制备的复合磨粒对SiO2薄膜的抛光特性.与常规实心SiO2磨粒相比,sSiO2/MSiO2复合磨粒明显改善了抛光表面质量并提高了材料去除率.这可能归因于MSiO2壳层通过机械和/或化学方面的作用对磨粒与衬底之间真实界面接触环境的优化.
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