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箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa.而采用绝缘封装层为A12O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限.动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm.

参考文献

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