CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究

物理测试, 2008, 26(4): 1-5.

1.河南科技大学材料科学与工程学院,河南,洛阳,471003;河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室,河南,洛阳,471003

2.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083

3.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083;北京科技大学功能材料研究所,北京,100083

4.河南科技大学材料科学与工程学院,河南,洛阳,471003;河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室,河南,洛阳,471003

5.河北省激光研究所,河北,石家庄,050081

基金项目: 国家自然科学基金(50372007) 河南科技大学博士科研基金

Micro-twins in CVD Free Standing Diamond Films Studied by EBSD

利用电子背散射衍射、扫描电镜和X射线衍射技术研究了CVD自支撑金刚石薄膜的孪晶组织形貌、孪晶界和晶体取向差分布.研究表明,金刚石薄膜中存在一阶和二阶孪晶,不同的孪晶取向转变过程能形成不同的孪晶组织形貌,高频率的孪晶能对薄膜织构产生明显影响.

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