为了提高氮等离子体浸没离子注入Ti-6Al-4V合金时氮原子的峰值深度, 利用钇来增加氮在基体中的注入深度和扩散深度, 先用20 kV的电压进行钇等离子体浸没离子注入处理, 然后用30 kV的电压进行氮等离子体浸没离子注入处理. 俄歇能谱测试表明氮原子的峰值深度有明显提高, 注钇时间为30 min的试件, 氮原子的峰值深度从50 nm上升到100 nm. 摩擦性能测试表明处理后试件的抗磨损能力大大提高.
参考文献
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